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cMassFlowUnits 400A Mass Flow Units ﾌｨｰﾙﾄﾞ機器ﾊﾞﾘｱﾌﾞﾙ単位 - 単位はﾃﾞｼﾞﾀﾙ値, 最小ｽﾊﾟﾝ, Upper ﾚﾝｼﾞ値, Lower ﾚﾝｼﾞ値, Lower ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄ, Upper ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄの表示に使用されます。 R/W Enum 32
dMassFlowValue 400B Mass Rate ﾌｨｰﾙﾄﾞ機器ﾊﾞﾘｱﾌﾞﾙ - ﾃﾞｼﾞﾀﾙ値は時間に大きく関係し, ﾕｰｻﾞｰの干渉には影響されません。 R Float 34
nxg_transfer_function 4210 伝送ﾀｲﾌﾟ 伝送ﾀｲﾌﾟ - ﾌｨｰﾙﾄﾞ機器のｱﾅﾛｸﾞ出力とﾊﾟｰｾﾝﾄ ﾚﾝｼﾞの伝送ﾀｲﾌﾟを定義します。これはﾃﾞｼﾞﾀﾙ値表示には影響しません。 R/W Enum 32
analog_units 420C ｱﾅﾛｸﾞ単位 R Enum 64
dMassFlowDamping 4146 Mass Flow Damping Factor ﾀﾞﾝﾋﾟﾝｸﾞ - ﾀﾞﾝﾋﾟﾝｸﾞ ﾀｲﾑはﾃﾞｼﾞﾀﾙ表示とｱﾅﾛｸﾞ出力に関係するｱﾅﾛｸﾞ ﾊﾞﾘｭｰの両方に作用します。単位は常に秒で表します。 R/W Float 32
serial_number 420B ｾﾝｻｰ S/N ｾﾝｻｰ ｼﾘｱﾙ ﾅﾝﾊﾞｰ - ﾃﾞｼﾞﾀﾙ値表示又はﾌｨｰﾙﾄﾞ機器ﾊﾞﾘｱﾌﾞﾙを主に導出するｾﾝｻｰを一意に識別します。 R/W Unsigned 2048
dMassFlowUpperSensorLimit 400C 質量流量 URL USL 値 (ｱｯﾊﾟｰ ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄ値) - Upper ﾚﾝｼﾞ値で使用できる最高の値を示しています。 R Float 8
dMassFlowLowerSensorLimit 400D 質量流量 LRL LSL 値 (ﾛｳｱｰ ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄ値) - Lower ﾚﾝｼﾞ値で使用できる最小の値を示しています。 R Float 8
dMassFlowMinimumSpan 400E Minimum Span 最小ｽﾊﾟﾝ - Lower ﾚﾝｼﾞ値から Upper ﾚﾝｼﾞ値までの使用できる最小幅を示しています。 R Float 8
dMassFlowFrequency 4215 Frequency Value of variable given in frequency output R Float 514
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