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Name ID Label Description Type Access Class
factory_on_off 4000 なし R/W Enum 4096
mass_flow_digital_units 4006 質量流量単位 ﾌｨｰﾙﾄﾞ機器ﾊﾞﾘｱﾌﾞﾙ単位 - 単位はﾃﾞｼﾞﾀﾙ値, 最小ｽﾊﾟﾝ, Upper ﾚﾝｼﾞ値, Lower ﾚﾝｼﾞ値, Lower ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄ, Upper ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄの表示に使用されます。 R/W Enum 32
mass_flow_digital_value 4007 質量流量 R Float 10
mass_flow_digital_format 4008 Mass flo format R/W Enum 2048
mass_flow_URV_1 4009 質量流量 URV URV (ｱｯﾊﾟｰ ﾚﾝｼﾞ ﾊﾞﾘｭｰ) - ｱﾅﾛｸﾞ出力に対するｵﾍﾟﾚｰｼｮﾝ上のｴﾝﾄﾞ ﾎﾟｲﾝﾄのことで, ﾊﾟｰｾﾝﾄ ﾚﾝｼﾞの 100% に相当します。 R/W Float 32
mass_flow_LRV_1 400A 質量流量 LRV LRV (ﾛｳｱｰ ﾚﾝｼﾞ ﾊﾞﾘｭｰ) - ｱﾅﾛｸﾞ出力に対するｵﾍﾟﾚｰｼｮﾝ上のｴﾝﾄﾞ ﾎﾟｲﾝﾄのことで, ﾊﾟｰｾﾝﾄ ﾚﾝｼﾞの 0% に相当します。 R/W Float 32
mass_flow_span 400B 最小ｽﾊﾟﾝ 最小ｽﾊﾟﾝ - Lower ﾚﾝｼﾞ値から Upper ﾚﾝｼﾞ値までの使用できる最小幅を示しています。 R Float 32
mass_flow_USL 400C USL USL 値 (ｱｯﾊﾟｰ ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄ値) - Upper ﾚﾝｼﾞ値で使用できる最高の値を示しています。 R Float 32
mass_flow_LSL 400D LSL LSL 値 (ﾛｳｱｰ ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄ値) - Lower ﾚﾝｼﾞ値で使用できる最小の値を示しています。 R Float 32
mass_flow_ry1_setpoint 400E Mass flo alm 1 crit R/W Float 1024
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