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analog_lower_limit 4008 ｱﾅﾛｸﾞ下限値 ｱﾅﾛｸﾞ ｱｳﾄﾌﾟｯﾄ ﾛｳｱｰ ｴﾝﾄﾞ ﾎﾟｲﾝﾄ値 - ﾉｰﾏﾙ ｵﾍﾟﾚｰﾃｨﾝｸﾞ ｺﾝﾃﾞｨｼｮﾝでのｱﾅﾛｸﾞ出力の下限値のことです。 R Float 64
analog_upper_limit 4009 ｱﾅﾛｸﾞ上限値 ｱﾅﾛｸﾞ ｱｳﾄﾌﾟｯﾄ ｱｯﾊﾟｰ ｴﾝﾄﾞ ﾎﾟｲﾝﾄ値 - ﾉｰﾏﾙ ｵﾍﾟﾚｰﾃｨﾝｸﾞ ｺﾝﾃﾞｨｼｮﾝでのｱﾅﾛｸﾞ出力の上限値のことです。 R Float 64
analog_lower_limit2 4302 ｱﾅﾛｸﾞ下限値 ｱﾅﾛｸﾞ ｱｳﾄﾌﾟｯﾄ ﾛｳｱｰ ｴﾝﾄﾞ ﾎﾟｲﾝﾄ値 - ﾉｰﾏﾙ ｵﾍﾟﾚｰﾃｨﾝｸﾞ ｺﾝﾃﾞｨｼｮﾝでのｱﾅﾛｸﾞ出力の下限値のことです。 R Float 64
analog_upper_limit2 4303 ｱﾅﾛｸﾞ上限値 ｱﾅﾛｸﾞ ｱｳﾄﾌﾟｯﾄ ｱｯﾊﾟｰ ｴﾝﾄﾞ ﾎﾟｲﾝﾄ値 - ﾉｰﾏﾙ ｵﾍﾟﾚｰﾃｨﾝｸﾞ ｺﾝﾃﾞｨｼｮﾝでのｱﾅﾛｸﾞ出力の上限値のことです。 R Float 64
analog_lower_limit3 4304 ｱﾅﾛｸﾞ下限値 ｱﾅﾛｸﾞ ｱｳﾄﾌﾟｯﾄ ﾛｳｱｰ ｴﾝﾄﾞ ﾎﾟｲﾝﾄ値 - ﾉｰﾏﾙ ｵﾍﾟﾚｰﾃｨﾝｸﾞ ｺﾝﾃﾞｨｼｮﾝでのｱﾅﾛｸﾞ出力の下限値のことです。 R Float 64
analog_upper_limit3 4305 ｱﾅﾛｸﾞ上限値 ｱﾅﾛｸﾞ ｱｳﾄﾌﾟｯﾄ ｱｯﾊﾟｰ ｴﾝﾄﾞ ﾎﾟｲﾝﾄ値 - ﾉｰﾏﾙ ｵﾍﾟﾚｰﾃｨﾝｸﾞ ｺﾝﾃﾞｨｼｮﾝでのｱﾅﾛｸﾞ出力の上限値のことです。 R Float 64
analog_units 4007 ｱﾅﾛｸﾞ単位 R/W Enum 32
mass_flow_digital_units 4022 質量流量単位 ﾌｨｰﾙﾄﾞ機器ﾊﾞﾘｱﾌﾞﾙ単位 - 単位はﾃﾞｼﾞﾀﾙ値,最小ｽﾊﾟﾝ,Upper ﾚﾝｼﾞ値,Lower ﾚﾝｼﾞ値,Lower ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄ,Upper ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄの表示に使用されます。 R/W Enum 32
mass_flow_digital_value 414D 質量流量 外部体積流量から計算される現在の質量流量。 R Float 10
mass_flow_digital_cutoff 4023 質量流量ｶｯﾄｵﾌ これを下回ると周波数/ﾊﾟﾙｽ出力がｾﾞﾛ ﾌﾛｰを示し、ﾄｰﾀﾗｲｻﾞｰがｶｳﾝﾄをｽﾄｯﾌﾟする質量流量。mA 出力に対してｶｯﾄｵﾌも設定できます（AO ｶｯﾄｵﾌ）。AO ｶｯﾄｵﾌが有効なのは、出力に割り当てられたﾌﾟﾛｾｽ ﾊﾞﾘｱﾌﾞﾙが質量流量または体積流量の場合だけです。 R/W Float 8
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