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Name ID Label Description Type Access Class
dvlMassFlow 4031 Mass Flow Mass flow R Float 10
uslMassFlow 4034 Upper Sensor Limit USL 値 (ｱｯﾊﾟｰ ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄ値) - Upper ﾚﾝｼﾞ値で使用できる最高の値を示しています。 R Float 8
lslMassFlow 4035 Lower Sensor Limit LSL 値 (ﾛｳｱｰ ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄ値) - Lower ﾚﾝｼﾞ値で使用できる最小の値を示しています。 R Float 8
mspMassFlow 4036 Minimum Span 最小ｽﾊﾟﾝ - Lower ﾚﾝｼﾞ値から Upper ﾚﾝｼﾞ値までの使用できる最小幅を示しています。 R Float 8
clsMassFlow 4037 Class Device Variable Class R Enum 8
dfaMassFlow 4038 Family Device Variable Family R Enum 8
dqaMassFlow 4039 Data Quality Process Data Quality 'PDQ' R Enum 10
lstMassFlow 403A Limit Status Limit Status 'LS' R Enum 10
fstMassFlow 403B Family Status Family Status 'FS' R BitEnum 10
utpMassFlow 403C Update Time Update Time Period 'UTP' R Time 8
Name ID Label Description Type Access Class