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mass_flow_upper_range_value 4019 質量流量 URV URV (ｱｯﾊﾟｰ ﾚﾝｼﾞ ﾊﾞﾘｭｰ) - ｱﾅﾛｸﾞ出力に対するｵﾍﾟﾚｰｼｮﾝ上のｴﾝﾄﾞ ﾎﾟｲﾝﾄのことで, ﾊﾟｰｾﾝﾄ ﾚﾝｼﾞの 100% に相当します。 R/W Float 32
mass_flow_upper_range_value_1 401A 質量流量 URV URV (ｱｯﾊﾟｰ ﾚﾝｼﾞ ﾊﾞﾘｭｰ) - ｱﾅﾛｸﾞ出力に対するｵﾍﾟﾚｰｼｮﾝ上のｴﾝﾄﾞ ﾎﾟｲﾝﾄのことで, ﾊﾟｰｾﾝﾄ ﾚﾝｼﾞの 100% に相当します。 R/W Float 32
mass_flow_lower_range_value 401B 質量流量 LRV LRV (ﾛｳｱｰ ﾚﾝｼﾞ ﾊﾞﾘｭｰ) - ｱﾅﾛｸﾞ出力に対するｵﾍﾟﾚｰｼｮﾝ上のｴﾝﾄﾞ ﾎﾟｲﾝﾄのことで, ﾊﾟｰｾﾝﾄ ﾚﾝｼﾞの 0% に相当します。 R/W Float 32
mass_flow_lower_range_value_1 401C 質量流量 LRV LRV (ﾛｳｱｰ ﾚﾝｼﾞ ﾊﾞﾘｭｰ) - ｱﾅﾛｸﾞ出力に対するｵﾍﾟﾚｰｼｮﾝ上のｴﾝﾄﾞ ﾎﾟｲﾝﾄのことで, ﾊﾟｰｾﾝﾄ ﾚﾝｼﾞの 0% に相当します。 R/W Float 32
mass_flow_digital_damping 401D 流量ﾀﾞﾝﾋﾟﾝｸﾞ ﾀﾞﾝﾋﾟﾝｸﾞ - ﾀﾞﾝﾋﾟﾝｸﾞ ﾀｲﾑはﾃﾞｼﾞﾀﾙ表示とｱﾅﾛｸﾞ出力に関係するｱﾅﾛｸﾞ ﾊﾞﾘｭｰの両方に作用します。単位は常に秒で表します。 R/W Float 32
serial_number 401E ｾﾝｻｰ S/N ｾﾝｻｰ ｼﾘｱﾙ ﾅﾝﾊﾞｰ - ﾃﾞｼﾞﾀﾙ値表示又はﾌｨｰﾙﾄﾞ機器ﾊﾞﾘｱﾌﾞﾙを主に導出するｾﾝｻｰを一意に識別します。 R/W Unsigned 2048
mass_flow_upper_sensor_limit 400C 質量流量 URL USL 値 (ｱｯﾊﾟｰ ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄ値) - Upper ﾚﾝｼﾞ値で使用できる最高の値を示しています。 R Float 8
mass_flow_lower_sensor_limit 401F 質量流量 LRL LSL 値 (ﾛｳｱｰ ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄ値) - Lower ﾚﾝｼﾞ値で使用できる最小の値を示しています。 R Float 8
mass_flow_minimum_span 4020 質量流量最小ｽﾊﾟﾝ 最小ｽﾊﾟﾝ - Lower ﾚﾝｼﾞ値から Upper ﾚﾝｼﾞ値までの使用できる最小幅を示しています。 R Float 8
mass_flow_hzfreq 4021 周波数ﾌｧｸﾀｰ The number of cycles, in Hertz, that equal a proportional flow rate represented by the frequency/pulse output. R/W Float 512
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