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analog_units 4013 ｱﾅﾛｸﾞ単位 R/W Enum 32
mass_flow_upper_range_value 4014 Mass Flow Upper Range Value URV (ｱｯﾊﾟｰ ﾚﾝｼﾞ ﾊﾞﾘｭｰ) - ｱﾅﾛｸﾞ出力に対するｵﾍﾟﾚｰｼｮﾝ上のｴﾝﾄﾞ ﾎﾟｲﾝﾄのことで, ﾊﾟｰｾﾝﾄ ﾚﾝｼﾞの 100% に相当します。 R/W Float 32
mass_flow_lower_range_value 4015 Mass Flow Lower Range Value LRV (ﾛｳｱｰ ﾚﾝｼﾞ ﾊﾞﾘｭｰ) - ｱﾅﾛｸﾞ出力に対するｵﾍﾟﾚｰｼｮﾝ上のｴﾝﾄﾞ ﾎﾟｲﾝﾄのことで, ﾊﾟｰｾﾝﾄ ﾚﾝｼﾞの 0% に相当します。 R/W Float 32
mass_flow_digital_damping 4016 Flow Damping ﾀﾞﾝﾋﾟﾝｸﾞ - ﾀﾞﾝﾋﾟﾝｸﾞ ﾀｲﾑはﾃﾞｼﾞﾀﾙ表示とｱﾅﾛｸﾞ出力に関係するｱﾅﾛｸﾞ ﾊﾞﾘｭｰの両方に作用します。単位は常に秒で表します。 R/W Float 32
serial_number 4017 Sensor Serial Number ｾﾝｻｰ ｼﾘｱﾙ ﾅﾝﾊﾞｰ - ﾃﾞｼﾞﾀﾙ値表示又はﾌｨｰﾙﾄﾞ機器ﾊﾞﾘｱﾌﾞﾙを主に導出するｾﾝｻｰを一意に識別します。 R/W Unsigned 2048
mass_flow_upper_sensor_limit 400A Mass Flow Upper Sensor Limit USL 値 (ｱｯﾊﾟｰ ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄ値) - Upper ﾚﾝｼﾞ値で使用できる最高の値を示しています。 R Float 8
mass_flow_lower_sensor_limit 4018 Mass Flow Lower Sensor Limit LSL 値 (ﾛｳｱｰ ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄ値) - Lower ﾚﾝｼﾞ値で使用できる最小の値を示しています。 R Float 8
mass_flow_minimum_span 4019 Mass Flow Minimum Span 最小ｽﾊﾟﾝ - Lower ﾚﾝｼﾞ値から Upper ﾚﾝｼﾞ値までの使用できる最小幅を示しています。 R Float 8
mass_flow_hzfreq 401A Frequency Factor The number of cycles, in Hertz, that equal a proportional flow rate represented by the frequency/pulse output. R/W Float 512
mass_flow_hzrate 401C Rate Factor The flow rate that equals a set frequency if the frequency output represents mass or volume flow; or the mass or volume total that equals a set number of pulses if the frequency output represents mass or volume total. R/W Float 512
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