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mass_flow_digital_damping 48B0 Flow Damping ﾀﾞﾝﾋﾟﾝｸﾞ - ﾀﾞﾝﾋﾟﾝｸﾞ ﾀｲﾑはﾃﾞｼﾞﾀﾙ表示とｱﾅﾛｸﾞ出力に関係するｱﾅﾛｸﾞ ﾊﾞﾘｭｰの両方に作用します。単位は常に秒で表します。 R/W Float 32
mass_flow_upper_sensor_limit 42CD Mass Flow Upper Sensor Limit USL 値 (ｱｯﾊﾟｰ ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄ値) - Upper ﾚﾝｼﾞ値で使用できる最高の値を示しています。 R Float 8
mass_flow_lower_sensor_limit 42CF Mass Flow Lower Sensor Limit LSL 値 (ﾛｳｱｰ ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄ値) - Lower ﾚﾝｼﾞ値で使用できる最小の値を示しています。 R Float 8
mass_flow_minimum_span 485D Mass Flow Minimum Span 最小ｽﾊﾟﾝ - Lower ﾚﾝｼﾞ値から Upper ﾚﾝｼﾞ値までの使用できる最小幅を示しています。 R Float 8
ednetmassflowClassificationCode 48B2 CM 正味質量流量の分類 ｸﾗｼﾌｨｹｰｼｮﾝ - 特定の用途又は機器ﾊﾞﾘｱﾌﾞﾙで使用される単位ｺｰﾄﾞ拡張ﾃｰﾌﾞﾙを示します。 R Enum 0
ednetmassflowFamily 48B3 CM 正味質量流量 ﾌｧﾐﾘ 機器ﾌｧﾐﾘｰ - 機器ﾊﾞﾘｱﾌﾞﾙが属するﾌｧﾐﾘｰ (例えば, 圧力, 温度, 流量など) を示します。 R Enum 2048
ednetmassflowPDQ 4236 CM 正味質量流量 PDQ ﾌﾟﾛｾｽ ﾃﾞｰﾀ品質 - 機器ﾊﾞﾘｱﾌﾞﾙ値のﾌﾟﾛｾｽ ﾃﾞｰﾀ全体としての品質を示します。 R Enum 10
ednetmassflowLS 48B4 CM 正味質量流量 LS ﾘﾐｯﾄ ｽﾃｰﾀｽ - 機器ﾊﾞﾘｱﾌﾞﾙのﾘﾐｯﾄ状態を示します (ﾘﾐｯﾄを超えている場合, ﾌﾟﾛｾｽに応答しません)。 R Enum 10
ednetmassflowStatus 48B5 CM 正味質量流量 ﾌｧﾐﾘ ｽﾃｰﾀｽ 機器ﾌｧﾐﾘｰ ｽﾃｰﾀｽ - 特定の機器ﾌｧﾐﾘｰに関する機器ﾊﾞﾘｱﾌﾞﾙの追加ｽﾃｰﾀｽ情報を示します。 R BitEnum 10
ednetmassflowUpdatePeriod 48B6 CM 正味質量流量のｱｯﾌﾟﾃﾞｰﾄ周期 R Time 0
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