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Name ID Label Description Type Access Class
mass_flow_digital_value 473D Mass Flow Rate (Calculated) Current mass flow rate as calculated from external volume flow rate. R Float 10
massflowClassificationCode 497E 質量流量の分類 クラシフィケーション - 特定の用途又は機器バリアブルで使用される単位コード拡張テーブルを示します。 R Enum 0
massflowFamily 497F 質量流量ファミリ 機器ファミリー - 機器バリアブルが属するファミリー (例えば, 圧力, 温度, 流量など) を示します。 R Enum 2048
massflowPDQ 4980 ステータス プロセス データ品質 - 機器バリアブル値のプロセス データ全体としての品質を示します。 R Enum 10
massflowLS 4981 質量流量 LS リミット ステータス - 機器バリアブルのリミット状態を示します (リミットを超えている場合, プロセスに応答しません)。 R Enum 10
massflowStatus 4982 質量流量ファミリ ステータス 機器ファミリー ステータス - 特定の機器ファミリーに関する機器バリアブルの追加ステータス情報を示します。 R BitEnum 10
massflowUpdatePeriod 4983 質量流量のアップデート周期 R Time 0
percent_n2_digital_units 486D パーセント N2 単位 フィールド機器バリアブル単位 - 単位はデジタル値, 最小スパン, Upper レンジ値, Lower レンジ値, Lower センサー リミット, Upper センサー リミットの表示に使用されます。 R Enum 32
percent_n2_value 486E パーセント N2 R Float 10
percent_n2_upper_sensor_limit 486F パーセント N2 センサー上限値 USL 値 (アッパー センサー リミット値) - Upper レンジ値で使用できる最高の値を示しています。 R Float 8
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