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Name ID Label Description Type Access Class
massfloValue 4012 質量流量 Mass flow value R Float 10
massfloUnits 4013 質量流量単位 Mass flow units R/W Enum 0
massfloFamily 4014 Mass flo Dev fmly 機器ﾌｧﾐﾘｰ - 機器ﾊﾞﾘｱﾌﾞﾙが属するﾌｧﾐﾘｰ (例えば, 圧力, 温度, 流量など) を示します。 R Enum 2048
massfloClassification 4015 Mass flo Class ｸﾗｼﾌｨｹｰｼｮﾝ - 特定の用途又は機器ﾊﾞﾘｱﾌﾞﾙで使用される単位ｺｰﾄﾞ拡張ﾃｰﾌﾞﾙを示します。 R Enum 0
massfloPDQ 4016 Mass flo PDQ ﾌﾟﾛｾｽ ﾃﾞｰﾀ品質 - 機器ﾊﾞﾘｱﾌﾞﾙ値のﾌﾟﾛｾｽ ﾃﾞｰﾀ全体としての品質を示します。 R Enum 10
massfloLS 4017 Mass flo LS ﾘﾐｯﾄ ｽﾃｰﾀｽ - 機器ﾊﾞﾘｱﾌﾞﾙのﾘﾐｯﾄ状態を示します (ﾘﾐｯﾄを超えている場合, ﾌﾟﾛｾｽに応答しません)。 R Enum 10
massfloStatus 4018 Mass flo Fmly stat 機器ﾌｧﾐﾘｰ ｽﾃｰﾀｽ - 特定の機器ﾌｧﾐﾘｰに関する機器ﾊﾞﾘｱﾌﾞﾙの追加ｽﾃｰﾀｽ情報を示します。 R BitEnum 10
massfloSnsrLmtUnits 4019 Mass flow snsr limit unit Mass flow snsr limit units R Enum 0
massfloUSL 401A Mass flo USL USL 値 (ｱｯﾊﾟｰ ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄ値) - Upper ﾚﾝｼﾞ値で使用できる最高の値を示しています。 R Float 0
massfloLSL 401B Mass flo LSL LSL 値 (ﾛｳｱｰ ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄ値) - Lower ﾚﾝｼﾞ値で使用できる最小の値を示しています。 R Float 0
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