Loading…
Name ID Label Description Type Access Class
dvlMassFlow 4037 Mass Flow Mass flow R Float 10
uslMassFlow 403A Upper Sensor Limit USL 値 (ｱｯﾊﾟｰ ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄ値) - Upper ﾚﾝｼﾞ値で使用できる最高の値を示しています。 R Float 8
lslMassFlow 403B Lower Sensor Limit LSL 値 (ﾛｳｱｰ ｾﾝｻｰ ﾘﾐｯﾄ値) - Lower ﾚﾝｼﾞ値で使用できる最小の値を示しています。 R Float 8
mspMassFlow 403C Minimum Span 最小ｽﾊﾟﾝ - Lower ﾚﾝｼﾞ値から Upper ﾚﾝｼﾞ値までの使用できる最小幅を示しています。 R Float 8
clsMassFlow 403D Class Device Variable Class R Enum 8
dfaMassFlow 403E Family Device Variable Family R Enum 8
dqaMassFlow 403F Data Quality Process Data Quality 'PDQ' R Enum 10
lstMassFlow 4040 Limit Status Limit Status 'LS' R Enum 10
fstMassFlow 4041 Family Status Family Status 'FS' R BitEnum 10
utpMassFlow 4042 Update Time Update Time Period 'UTP' R Time 8
Name ID Label Description Type Access Class