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Name ID Label Description Type Access Class
temperatureLSL 4020 Sensor temp. LSL LSL 値 (ロウアー センサー リミット値) - Lower レンジ値で使用できる最小の値を示しています。 R Float 0
temperatureMinimumSpan 4021 Sensor temp. min span 最小スパン - Lower レンジ値から Upper レンジ値までの使用できる最小幅を示しています。 R Float 0
temperatureDampingValue 4022 Sensor temp. Damping Sensor temp. Damping- Sensor temp. damping value is 0.000sec(fixed). R Float 0
temperatureUpdatePeriod 4120 Sensor temp. Update Period R Time 0
temperatureSerialNumber 4024 Temp. sensor serial number センサー シリアル ナンバー - デジタル値表示又はフィールド機器バリアブルを主に導出するセンサーを一意に識別します。 R Unsigned 2048
temperatureSimulated 4025 Sensor temp. Simulate W Enum 2052
ds_model_number 402A Model No. Model No.- Shows the GasCVD model number. R/W ASCII 2048
ds_production_number 402B Production No. Production No.- Shows the GasCVD production identification number. R/W ASCII 2048
ds_gascvd_serial_number 402C GasCVD serial number GasCVD serial number- Shows the GasCVD serial number. R Unsigned 2048
ds_sensor_serial_number 402D GasCVD sensor serial number GasCVD sensor serial number- Shows the GasCVD sensor serial number. R/W Unsigned 2048
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